VOCS工业废气处理低温净化法

　　VOCS工业废气处理低温净化法是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。传统的VOCS工业废气处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCS很难实现，而光催化降解VOCS又存在催化剂容易失活的问题，VOCS工业废气处理低温净化法可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因此，目前能成熟的掌握该技术的单位非常少，大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是意义上的低温净化废气处理技术。